裝置主要性能指標及技術參數1．
裝置極限真空度小于10Pa2．裝置年泄漏率小于1%3．噪音小于75dB4．充氣系統壓力小于0.8Mpa5．環境溫度:-10℃-+40℃6．電源：交流三相50赫，380V7．型號：LCZ-15型 功率：2.2千瓦 真空速率：15升/秒 LCZ-30型 功率：3千瓦 真空速率：30升/秒 （水冷機組） LCZ-70型 功率：5.5千瓦 真空速率：70升/秒 （水冷機組）8。外型尺寸：（長X寬X高） LCZ-15型 700X500X800 LCZ-30型 900X600X850 LCZ-70型 1200X700X1100LCZ-4型 真空泵速率 4升/秒(14.4 m3/h) LCZ-8型 真空泵速率 8升/秒(28.8 M3/h) LCZ-15型 真空泵速率 15升/秒(54 M3/h) LCZ-30型 真空泵速率 30升/秒(108M3/h) LCZ-70型 真空泵速率 70升/秒(252 M3/h) 可選用羅茨泵機組 LCZ-150型 真空泵速率 150升/秒(540 M3/h) 可選用羅茨泵機組
